真空物理學
微系統技術需要很小但非常精確的組件-甚至用于其生產的工具均受此主張的約束。借助高精度,部分由超聲波引導的CNC研磨,Tigar電力變壓器,舌片和定位產品的厚度都在幾微米之內。為了盡可能長時間地獲得高精度,該技術中的技術陶瓷的權利要求總體上涉及耐磨性。在大多數情況下,隨著高科技材料的出現,此處使用的ZrO2可實現具有高韌性和強度的精確表面。此外,調整后的熱膨脹系數與最常用的鋼材完全相關。
但是通過研磨技術,綠色加工開辟了不可能或非常難以實現的可能性:在最高應用溫度下使用電絕緣樣品架。在2,000°C(在特高壓范圍內使用)中,實現了2.5毫米x 2.5毫米x 12毫米大部件,帶有6條來自A-997的連續M1.2內螺紋。